隱冠半導體壓電部門專注于精密定位執(zhí)行器的研發(fā)、生產(chǎn)制造、銷售；是國內(nèi)壓電領域極少數(shù)擁有從壓電陶瓷材料到壓電陶瓷電機再到納米精度壓電運動臺全產(chǎn)品鏈研發(fā)與批量生產(chǎn)能力的高科技企業(yè)，公司具有豐富的產(chǎn)業(yè)化經(jīng)驗。
隱冠打造精密運動臺、特種電機、壓電產(chǎn)品和關(guān)鍵零部件四大產(chǎn)品線，配備先進的精密運動控制測試平臺和一批專用工具，具備良好的生產(chǎn)測試條件。
隱冠半導體成立于2019年，是一家專注半導體制造、量檢測和先進封裝裝備精密運動平臺及核心部件研發(fā)與生產(chǎn)的高科技創(chuàng)新型企業(yè)。
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公司以客戶需求為導向、快速反應為特點。專業(yè)化定制、全生命周期服務是公司秉承的發(fā)展理念。
隱冠讓運動更精密，讓精密更穩(wěn)定。
隨著半導體行業(yè)的飛速發(fā)展，半導體的生產(chǎn)工藝越來越復雜，尤其是5nm工藝的逐步成熟完善，3nm工藝不斷突破的情況下，芯片電路單元的尺寸越小，芯片生產(chǎn)過程中就越容易出現(xiàn)各種缺陷。一般來說，根據(jù)電子系統(tǒng)檢測中的“十倍法則”，在基材層面發(fā)現(xiàn)的故障傳導到芯片級別會造成成本十倍的增加，所以缺陷檢測系統(tǒng)在半導體行業(yè)極其重要。
電子束晶圓檢測，是掃描電子顯微鏡（SEM）技術(shù)的應用。其使用高能電子與晶圓表面的物質(zhì)發(fā)生相互作用時所激發(fā)出的信息進行成像。然后再通過圖像處理和運算來實現(xiàn)對晶圓缺陷、關(guān)鍵尺寸等進行檢測的目的。
