1、MFC質量流量控制器簡介

MFC，即質量流量控制器，是一種能夠精確測量和控制流體質量流量的精密儀器，是確保工藝過程準確性和產品一致性的關鍵功能單元。根據 QYResearch 最新調研報告顯示，預計 2029 年全球半導體流量計市場規(guī)模將達到 5.3 億美元，未來幾年年復合增長率 CAGR 為 8.2%。就產品類型而言，目前氣體流量計是最主要的細分產品，占據大約 58%的份額。

MFC在半導體工藝的各個環(huán)節(jié)中都發(fā)揮著不可或缺的作用，例如，在過程工藝（刻蝕、鍍膜等）環(huán)節(jié)，用于對混合氣體的各組分流量、以及裝備真空度進行實時監(jiān)測或調節(jié)，確?；旌蠚怏w比例精確；在材料清洗環(huán)節(jié)，用于控制工藝過程中的氮氣流量，確保清潔和干燥的效果；在超凈間等基礎設施中，用于對環(huán)境氣體潔凈度和風速進行長期穩(wěn)定控制。為保證半導體制造過程的穩(wěn)定性和產品的質量，通常要求MFC產品具有高精度、高穩(wěn)定性、高可靠性、且能夠快速響應。就產品應用而言，目前沉積設備是最主要的需求來源，占據大約 36.1%的份額；蝕刻設備占據大約29.4%；立式爐/臥式爐/RTP設備占據大約16%；清洗設備占據大約10.4%；離子注入設備占據大約8.03%。

近年來，日本Horiba、美國Brooks等業(yè)內龍頭企業(yè)相繼推出壓電陶瓷式比例閥以及基于壓電比例閥的半導體級MFC產品，在提高響應速度的同時大幅度降低長期使用中性能退化、發(fā)熱、漏氣等問題。相關研究顯示，亞太區(qū)為最大的半導體流量計市場，國內一些公司在生產方面取得了不錯的發(fā)展，以滿足半導體行業(yè)高精度、高可靠性、快速響應的需求。

壓電比例閥是MFC中的核心控制部件，與流量傳感器形成閉環(huán)，實現氣體流量的動態(tài)、快速調整。相較于目前國內主流的電磁比例閥，壓電比例閥響應快、控制精度高，且具有極低的功耗和熱噪聲。

（質量流量控制器結構圖）

2、為什么選擇隱冠半導體

隱冠半導體壓電部門專注于精密定位執(zhí)行器及運動系統(tǒng)的研發(fā)、生產制造、銷售；是國內壓電領域極少數擁有從壓電陶瓷材料到壓電陶瓷電機再到納米精度壓電運動臺全產品鏈研發(fā)與批量生產能力的高科技企業(yè)，公司具有豐富的產業(yè)化經驗。

隱冠可提供MFC核心部件壓電比例閥中壓電執(zhí)行器-疊堆型壓電陶瓷，其具有亞毫秒的響應時間和亞納米分辨率，以保證更快響應和更高精度的控制。隱冠自研自產的疊堆型壓電陶瓷可以在較低電壓下產生較大的驅動位移。同時全金屬密封的壓電致動器已批量供貨，性能和一致性表現優(yōu)異。

公司壓電陶瓷已實現批量化生產，具有豐富的產品規(guī)格和種類以匹配不同的比例閥結構設計。

針對客戶的個性化集成需求，公司可以定制封裝尺寸、電壓、行程、金屬端件等，以滿足機械剛度和穩(wěn)定性，以保證比例閥的可靠性和長期運行效果。

同時公司針對客戶特定需求和具體應用場景，集成應變片實現閉環(huán)控制。

公司在國內擁有上海、蘇州、廣州、成都四個服務中心，可快速響應全國客戶的技術升級&更新更換、項目開發(fā)、維修維護等需求。

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