預(yù)壓致動(dòng)器是一種壓電陶瓷疊堆的鎧裝設(shè)備，起到保護(hù)疊堆和方便安裝的作用，同時(shí)預(yù)壓致動(dòng)器內(nèi)部對(duì)壓電陶瓷施加了預(yù)壓力，可提供一定的拉力和對(duì)位移輸出的調(diào)節(jié)。預(yù)壓致動(dòng)器可內(nèi)部集成應(yīng)變片實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制。
默認(rèn)輸出端為球頭，可定制其他輸出端結(jié)構(gòu)。
|
|
單位 |
公差 |
PAPL-C5-18N |
PAPL-C5-36N |
PAPL-C5-54N |
PAPL-C5-60N |
PAPL-C5-90N |
PAPL-C5-108N |
|
行程@150V* |
μm |
±20% |
18 |
36 |
54 |
60 |
90 |
108 |
|
電容** |
μF |
±20% |
1.5 |
3 |
4.5 |
6 |
7.5 |
9 |
|
開(kāi)環(huán)分辨率 |
nm |
典型值 |
0.18 |
0.36 |
0.54 |
0.72 |
0.9 |
1.08 |
|
集成傳感器 |
|
|
SGS |
SGS |
SGS |
SGS |
SGS |
SGS |
|
閉環(huán)分辨率*** |
nm |
典型值 |
0.36 |
0.72 |
1.08 |
1.44 |
1.8 |
2.16 |
|
諧振頻率 |
kHz |
±20% |
18 |
14 |
10 |
8.5 |
7 |
6 |
|
剛度 |
N/μm |
±20% |
57 |
27 |
19 |
15 |
12 |
10 |
|
推力**** |
N |
最大值 |
1000 |
1000 |
1000 |
1000 |
1000 |
1000 |
|
拉力 |
N |
最大值 |
150 |
150 |
150 |
150 |
150 |
150 |
|
工作電壓 |
V |
|
-20~150 |
-20~150 |
-20~150 |
-20~150 |
-20~150 |
-20~150 |
|
工作溫度范圍 |
°C |
|
-20~80 |
-20~80 |
-20~80 |
-20~80 |
-20~80 |
-20~80 |
|
電壓接口 |
LEMO FFA.00.250 |
|||||||
|
傳感器接口 |
LEMO FFA.0S.304 |
|||||||
|
線長(zhǎng) |
m |
±0.02m |
1.5 |
1.5 |
1.5 |
1.5 |
1.5 |
1.5 |
| * 空載下位移輸出 |
| ** 電容測(cè)試條件：常溫環(huán)境，1Vpp，1kHz |
| *** 閉環(huán)參數(shù)只適用閉環(huán)版本的壓電預(yù)壓致動(dòng)器 |
| **** 推力測(cè)試：驅(qū)動(dòng)電壓0~150V |
| 其他規(guī)格可根據(jù)客戶需求進(jìn)行定制 |
|
PAPL系列C5型壓電預(yù)壓致動(dòng)器，開(kāi)環(huán)版本 |
|
|
型號(hào) |
說(shuō)明 |
|
PAPL-C5-18N |
C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動(dòng)器，有效行程18μm，開(kāi)環(huán) |
|
PAPL-C5-36N |
C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動(dòng)器，有效行程36μm，開(kāi)環(huán) |
|
PAPL-C5-54N |
C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動(dòng)器，有效行程54μm，開(kāi)環(huán) |
|
PAPL-C5-60N |
C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動(dòng)器，有效行程60μm，開(kāi)環(huán) |
|
PAPL-C5-90N |
C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動(dòng)器，有效行程90μm，開(kāi)環(huán) |
|
PAPL-C5-108N |
C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動(dòng)器，有效行程108μm，開(kāi)環(huán) |
|
PAPL系列C5型壓電預(yù)壓致動(dòng)器，應(yīng)變片閉環(huán)版本 |
|
|
型號(hào) |
說(shuō)明 |
|
PAPL-C5-18S |
C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動(dòng)器，有效行程18μm，應(yīng)變片閉環(huán) |
|
PAPL-C5-36S |
C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動(dòng)器，有效行程36μm，應(yīng)變片閉環(huán) |
|
PAPL-C5-54S |
C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動(dòng)器，有效行程54μm，應(yīng)變片閉環(huán) |
|
PAPL-C5-60S |
C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動(dòng)器，有效行程60μm，應(yīng)變片閉環(huán) |
|
PAPL-C5-90S |
C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動(dòng)器，有效行程90μm，應(yīng)變片閉環(huán) |
|
PAPL-C5-108S |
C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動(dòng)器，有效行程108μm，應(yīng)變片閉環(huán) |
|
PAPL系列C5型壓電預(yù)壓致動(dòng)器，開(kāi)環(huán)、真空兼容版本 |
|
|
型號(hào) |
說(shuō)明 |
|
PAPL-C5-18NU |
C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動(dòng)器，有效行程18μm，開(kāi)環(huán)，真空兼容至10??Pa |
|
PAPL-C5-36NU |
C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動(dòng)器，有效行程36μm，開(kāi)環(huán)，真空兼容至10??Pa |
|
PAPL-C5-54NU |
C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動(dòng)器，有效行程54μm，開(kāi)環(huán)，真空兼容至10??Pa |
|
PAPL-C5-60NU |
C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動(dòng)器，有效行程60μm，開(kāi)環(huán)，真空兼容至10??Pa |
|
PAPL-C5-90NU |
C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動(dòng)器，有效行程90μm，開(kāi)環(huán)，真空兼容至10??Pa |
|
PAPL-C5-108NU |
C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動(dòng)器，有效行程108μm，開(kāi)環(huán)，真空兼容至10??Pa |
|
PAPL系列C5型壓電預(yù)壓致動(dòng)器，應(yīng)變片閉環(huán)、真空兼容版本 |
|
|
型號(hào) |
說(shuō)明 |
|
PAPL-C5-18SU |
C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動(dòng)器，有效行程18μm，應(yīng)變片閉環(huán)，真空兼容至10??Pa |
|
PAPL-C5-36SU |
C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動(dòng)器，有效行程36μm，應(yīng)變片閉環(huán)，真空兼容至10??Pa |
|
PAPL-C5-54SU |
C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動(dòng)器，有效行程54μm，應(yīng)變片閉環(huán)，真空兼容至10??Pa |
|
PAPL-C5-60SU |
C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動(dòng)器，有效行程60μm，應(yīng)變片閉環(huán)，真空兼容至10??Pa |
|
PAPL-C5-90SU |
C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動(dòng)器，有效行程90μm，應(yīng)變片閉環(huán)，真空兼容至10??Pa |
|
PAPL-C5-108SU |
C5型壓電陶瓷預(yù)壓致動(dòng)器，有效行程108μm，應(yīng)變片閉環(huán)，真空兼容至10??Pa |
