微步電機陶瓷模組由多層壓電陶瓷層（通過機械方式串聯(lián)）以交錯電極（電極間相互平行）的方式組成，其中包括了一定數(shù)量的壓電陶瓷厚度片與壓電陶瓷剪切片，能夠在兩軸輸出位移。其通過厚度片抬高、剪切片前進，類似尺蠖昆蟲的爬行方式來實現(xiàn)長行程。
|
參數(shù) |
PANL-R001-14-16H4Q |
PANL-S06-22-5H7Q |
PANL-S06-22-7H5Q |
PANL-S06-22-12Q |
|
運動軸 |
Z/X |
Z/X |
Z/X |
Z/X |
|
元件高度一致性 |
≤0.03mm |
≤0.03mm |
≤0.03mm |
≤0.03mm |
|
元件上頂面共面平面度 |
≤5μm |
≤5μm |
≤5μm |
≤5μm |
|
元件下底面平面度 |
≤5μm |
≤5μm |
≤5μm |
≤5μm |
|
元件上頂面與下底面平行度 |
≤10μm |
≤10μm |
≤10μm |
≤10μm |
|
剪切壓電陶瓷驅動電壓 |
-250V - 250V |
-250V~+250V |
-250V~+250V |
-250V~+250V |
|
縱向壓電陶瓷驅動電壓 |
-250V - 250V |
-250V~+250V |
-250V~+250V |
/ |
|
剪切壓電陶瓷位移（Y 向位移） |
≥±2μm@±250V |
≥±7μm@±250V |
≥±5μm@±250V |
≥±12μm@±250V |
|
縱向壓電陶瓷位移（Z 向位移） |
≥3μm@500Vp-p(±250V) |
≥0.9μm@500Vp-p(±250V) |
≥1.5μm@500Vp-p(±250V) |
/ |
|
剪切壓電陶瓷最大輸出力 |
≥±100N@±250V |
≥±50N@±250V |
≥±50N@±250V |
≥±50N@±250V |
|
縱向壓電陶瓷最大輸出力 |
≥2000N@+250V |
≥700N@+250V |
≥1000N@+250V |
/ |
|
單個壓電陶瓷腿縱向機械剛度 |
≥500N/μm |
≥250N/μm |
≥250N/μm |
≥250N/μm |
|
剪切壓電陶瓷電容 |
≤40nF±15%@1Vp-p&1kHz |
≤30nF±15%@1Vp-p&1kHz |
≤90nF±15%@1Vp-p&1kHz |
|
|
縱向壓電陶瓷電容 |
≤150nF±15%@1Vp-p&1kHz |
≤40nF±15%@1Vp-p&1kHz |
≤60nF±15%@1Vp-p&1kHz |
/ |
|
剪切壓電陶瓷遲滯非線性 @500Vp-p |
≤40% |
≤40% |
≤40% |
≤40% |
|
工作溫度 |
-25°C - 130°C |
-25°C - 130°C |
-25°C - 130°C |
-25°C - 130°C |
|
居里溫度 |
280°C |
280°C |
280°C |
280°C |
|
外形尺寸 L |
33mm±0.1mm |
13mm±0.1mm |
13mm±0.1mm |
13mm±0.1mm |
|
外形尺寸 W |
10mm±0.1mm |
13mm±0.1mm |
13mm±0.1mm |
13mm±0.1mm |
|
外形尺寸 H |
15mm±0.005mm |
8.7mm±0.005mm |
8.7mm±0.005mm |
8.7mm±0.005mm |
*位移測試：驅動電壓 -250~250V、公差 ±15%；
** 外形尺寸：標注尺寸為單側陶瓷模組尺寸，不包括線路板；
*** 電容測試條件：常溫環(huán)境，1Vpp，1kHz，公差 ±15%。
驅動電壓：常見最大驅動電壓可選范圍 50 - 250V，特殊電壓可按需定制。
位移定制：輸出位移取決于器件尺寸，提供多種剪切和厚度位移組合，位移行程可選。
工作頻率：可按需設計，單片致動器最高驅動頻率可達 50kHz。
外形定制：模組長、寬、高可按需定制。
連接方式：滿足 AWG 標準下，可選配線束或柔性線路板，線束長度、朝向及線路板設計可定制。
