• 鏡頭精密調(diào)節(jié)
• 精密半導(dǎo)體設(shè)備
• 精密電子顯微鏡調(diào)節(jié)
• 精密醫(yī)學(xué)檢測(cè)設(shè)備
• 無(wú)磁環(huán)境
• 真空無(wú)發(fā)熱環(huán)境

微步式驅(qū)動(dòng)原理實(shí)現(xiàn)納米級(jí)精度和高驅(qū)動(dòng)力
陶瓷微步電機(jī)是一種新型仿生式壓電執(zhí)行器，通過(guò)多組多維度壓電執(zhí)行器單元按照步進(jìn)式的多組動(dòng)作邏輯進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)對(duì)電機(jī)動(dòng)子的直線驅(qū)動(dòng)。其主要特點(diǎn)是體積小、驅(qū)動(dòng)力大；在靜態(tài)下可以保持高夾持力，且無(wú)熱功耗；可將單步實(shí)現(xiàn)高細(xì)分，實(shí)現(xiàn)納米級(jí)高分辨率；步進(jìn)式運(yùn)動(dòng)方式，可以實(shí)現(xiàn)毫米級(jí)大運(yùn)動(dòng)行程。
選配增量式光柵尺實(shí)現(xiàn)高精度定位
非接觸式光柵尺可以直接檢測(cè)運(yùn)動(dòng)臺(tái)面的位移，最大程度避免了間接位移檢測(cè)帶來(lái)的位置誤差。
可適合復(fù)雜真空環(huán)境應(yīng)用
陶瓷微步電機(jī)可選配真空版本。電機(jī)靜態(tài)下無(wú)熱功耗，不產(chǎn)生磁場(chǎng)。