干貨丨芯片制造中的必備要素——真空                      
                      
                        
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                        2024-10-30
                      
                      
                          真空在半導體制造中非常重要,在半導體工業(yè)中,真空環(huán)境被用于各種制程,包括物理氣相沉積 (Physical Vapor Deposition, PVD)、化學氣相沉積 (Chemical Vapor Deposition, CVD)、原子層沉積 (Atomic Layer Deposition, ALD)、離子注入 (Ion Implantation)、等離子刻蝕 (Plasma Etching) 等等。那么今天就來介紹一下真空這個常見卻讓人一知半解的概念。