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上海隱冠半導體技術(shù)有限公司

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產(chǎn)品中心詳情頁2
陣列式高精度二維拾取模組
陣列式高精度二維拾取模組
陣列式高精度二維拾取模組
主要特點

  • 電機無齒槽力
  • 高推力密度
  • 緊湊設(shè)計,低斷面高度
  • 動磁鐵式結(jié)構(gòu),運動中完全無線纜力干擾
  • 高動態(tài)響應,非接觸無鐵芯,直線電機直驅(qū)
  • 高精度的光學式線性編碼器反饋
  • 優(yōu)異的定位精度和動態(tài)性能
  • 模塊化設(shè)計,可接受定制加工

規(guī)格書下載
主要應用
  • 醫(yī)療領(lǐng)域
  • 半導體設(shè)備
  • 汽車
性能簡介

模組采用扁平化設(shè)計,采用無鐵芯動磁鐵式直線電機直接驅(qū)動負載,利用磁力彈簧作重力補償,配合高精度直線導軌和高分辨率編碼器,可實現(xiàn)高精度行走精度及運動定位精度。

技術(shù)參數(shù)
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單位

MXZ-54-38

MXZ-54-38

 

 

X

Z

行程

mm

±27

±19

精度_校準后

μm

±2

±2

單向重復精度

μm

±1

±1

直線度

μm

±5

±3

平面度

μm

±5

±3

連續(xù)推力

N

15

7.5

最大速度

mm/s

500

500

機械特征

 

X

Z

外觀尺寸/W×L×H

mm×mm×mm

188.5×18.2×186.5

188.5×18.2×186.5

最大負載

kg

5

0.5

總質(zhì)量

kg

2

2

平臺材料

 

不銹鋼SUS304

不銹鋼SUS304

電氣性能

 

X

Z

驅(qū)動類型

 

動鐵直線電機

動鐵直線電機

推力常數(shù)

N/A

9.4

4.7

峰值推力

N

38.4

19.2

峰值電流

A

4.08

4.08

連續(xù)電流

A

1.6

1.6

電阻

ohms

6.32

3.16

電感

mH

2.3

1.15

反饋類型

 

增量式光學線性編碼器

增量式光學線性編碼器

反饋分辨率

μm

0.1

0.1

電氣限位

 

NA

NA

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