晶圓檢查、高精度計量、X射線衍射系統(tǒng)、光學(xué)檢查和制造以及MEMS /納米技術(shù)設(shè)備制造
精密氣浮轉(zhuǎn)臺以超薄的外形提供了出色的角度定位、速度穩(wěn)定性和誤差運動性能。
*接口尺寸數(shù)據(jù)來源于ARD120
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技術(shù)指標(biāo) |
單位 |
ARD120-00 |
ARD180-00 |
ARD220-00 |
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精度 |
arcsec |
±2 |
±2 |
±2 |
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雙向重復(fù)精度 |
arcsec |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
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軸向跳動 |
nm |
<180 |
<100 |
<100 |
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徑向跳動 |
nm |
<450 |
<250 |
<250 |
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傾斜誤差 |
arcsec |
<1 |
<0.7 |
<0.7 |
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連續(xù)扭矩 |
N·m |
0.48 |
2.36 |
5.99 |
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最大轉(zhuǎn)速 |
rpm |
1000 |
1000 |
1000 |
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機械特征 |
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外觀尺寸 |
mm |
120 |
180 |
220 |
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中空尺寸 |
mm |
10 |
30 |
50 |
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最大負(fù)載_軸向 |
Kg |
8 |
30 |
66 |
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最大負(fù)載_徑向 |
Kg |
4 |
15 |
36 |
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工作氣壓_軸向 |
bar |
5±0.5 |
5±0.5 |
5±0.5 |
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工作氣壓_徑向 |
bar |
6±0.5 |
6±0.5 |
6±0.5 |
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總質(zhì)量 |
Kg |
4.5 |
6.1 |
8.3 |
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平臺材料 |
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航空鋁，黑色陽極氧化/硬質(zhì)陽極氧化 |
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在ARD120系列產(chǎn)品序列里，配置了可根據(jù)用戶實際應(yīng)用選擇的可選項。可選內(nèi)容包括尺寸、編碼器等選項。
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表1尺寸選項 |
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-120 |
120,Diameter |
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-180 |
180,Diameter |
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-220 |
220,Diameter |
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表2編碼器選項 |
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-S1 |
增量式模擬光學(xué)式線性編碼器，1Vpp |
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-S2 |
增量式數(shù)字光學(xué)式線性編碼器，RS422 |
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-S3 |
絕對式光學(xué)式線性編碼器，BISS |
