半導(dǎo)體設(shè)備和激光領(lǐng)域
LART150精密氣浮軸承轉(zhuǎn)臺(tái)精巧的設(shè)計(jì)，保證在極小的高度內(nèi)(65mm), 實(shí)現(xiàn)大中空(φ75);高精度的回轉(zhuǎn)精度，提供超平穩(wěn)的運(yùn)動(dòng)，角秒級(jí)別的精度和絕對(duì)重復(fù)性；高超的制造水平，保證了氣浮軸承的質(zhì)量和穩(wěn)定性。
*接口尺寸數(shù)據(jù)來(lái)源于LART150
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技術(shù)指標(biāo) |
單位 |
LART150 |
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臺(tái)面直徑 |
mm |
150 |
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高度 |
mm |
65 |
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中空尺寸 |
mm |
75 |
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最大轉(zhuǎn)速 |
rpm |
800 |
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峰值扭矩 |
N·m |
8 |
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連續(xù)扭矩 |
N·m |
2.6 |
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精度 |
arcsec |
±1.5 |
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雙向重復(fù)精度 |
arcsec |
±1 |
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最大負(fù)載_軸向 |
kg |
80 |
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最大負(fù)載_徑向 |
kg |
30 |
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軸向誤差運(yùn)動(dòng)(同步) |
nm |
<100 |
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徑向誤差運(yùn)動(dòng)(同步) |
nm |
<200 |
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傾斜誤差(同步) |
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<2.5urad(0.5arcsec) |
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工作氣壓 |
Mpa |
0.5 |
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耗氣量 |
L/min |
<25 |
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總質(zhì)量 |
kg |
5 |
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適配驅(qū)動(dòng)器 |
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DC48V驅(qū)動(dòng)器/Driver |
＊精度檢測(cè)轉(zhuǎn)速為60rpm檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)為GBT+17421.7-2016(ISO230-7-2006)以及GB/T17421.22000,環(huán)境溫度為22°±0.5℃
