半導(dǎo)體設(shè)備和激光領(lǐng)域
PART100精密氣浮轉(zhuǎn)臺高精度的回轉(zhuǎn)精度，提供超平穩(wěn)的運動，角秒級別的精度和絕對重復(fù)性；高超的制造水平，保證了氣浮軸承的質(zhì)量和穩(wěn)定性；輕質(zhì)化設(shè)計，產(chǎn)品重量輕，更便于集成。
*接口尺寸數(shù)據(jù)來源于PART100
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技術(shù)指標 |
單位 |
PART100 |
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臺面直徑 |
mm |
100 |
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高度 |
mm |
95 |
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中空尺寸 |
mm |
25 |
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最大轉(zhuǎn)速 |
rpm |
600rpm@48V |
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峰值扭矩 |
N·m |
3.9 |
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連續(xù)扭矩 |
N·m |
3.2 |
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精度 |
arcsec |
±1.5 |
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雙向重復(fù)精度 |
arcsec |
±1 |
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最大負載_軸向 |
Kg |
53 |
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最大負載_徑向 |
Kg |
17 |
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軸向誤差運動(同步) |
nm |
<100 |
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徑向誤差運動(同步) |
nm |
<200 |
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傾斜誤差(同步) |
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<2.5µrad(0.5arcsec) |
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工作氣壓 |
Mpa |
0.5 |
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耗氣量 |
L/min |
<25 |
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總質(zhì)量 |
Kg |
4 |
＊精度檢測轉(zhuǎn)速為60rpm檢測標準為GBT+17421.7-2016(ISO230-7-2006)以及GB/T17421.22000,環(huán)境溫度為22°±0.5℃
