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氣浮位移臺(tái)
PART100精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)
主要特點(diǎn)
- 大負(fù)載、高精度的氣浮軸承
- 重復(fù)性高、可實(shí)現(xiàn)高定位精度
- 高水平的加工技術(shù)
- 靈活定制
主要應(yīng)用
半導(dǎo)體設(shè)備和激光領(lǐng)域
性能簡(jiǎn)介
PART100精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)高精度的回轉(zhuǎn)精度，提供超平穩(wěn)的運(yùn)動(dòng)，角秒級(jí)別的精度和絕對(duì)重復(fù)性；高超的制造水平，保證了氣浮軸承的質(zhì)量和穩(wěn)定性；輕質(zhì)化設(shè)計(jì)，產(chǎn)品重量輕，更便于集成。
機(jī)械尺寸圖
*接口尺寸數(shù)據(jù)來(lái)源于PART100
技術(shù)參數(shù)
<<<左滑查看更多參數(shù)
|
技術(shù)指標(biāo) |
單位 |
PART100 |
|
臺(tái)面直徑 |
mm |
100 |
|
高度 |
mm |
95 |
|
中空尺寸 |
mm |
25 |
|
最大轉(zhuǎn)速 |
rpm |
600rpm@48V |
|
峰值扭矩 |
N·m |
3.9 |
|
連續(xù)扭矩 |
N·m |
3.2 |
|
精度 |
arcsec |
±1.5 |
|
雙向重復(fù)精度 |
arcsec |
±1 |
|
最大負(fù)載_軸向 |
Kg |
53 |
|
最大負(fù)載_徑向 |
Kg |
17 |
|
軸向誤差運(yùn)動(dòng)(同步) |
nm |
<100 |
|
徑向誤差運(yùn)動(dòng)(同步) |
nm |
<200 |
|
傾斜誤差(同步) |
|
<2.5µrad(0.5arcsec) |
|
工作氣壓 |
Mpa |
0.5 |
|
耗氣量 |
L/min |
<25 |
|
總質(zhì)量 |
Kg |
4 |
＊精度檢測(cè)轉(zhuǎn)速為60rpm檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)為GBT+17421.7-2016(ISO230-7-2006)以及GB/T17421.22000,環(huán)境溫度為22°±0.5℃
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