半導(dǎo)體、平板顯示、光纖對準(zhǔn)、生物醫(yī)藥等，特別適用于雙面加工或者基因檢測等領(lǐng)域
中空式平面二維精密位移臺采用了XY一體化、正交性設(shè)計(jì)思想，具有超薄的輪廓尺寸和大中空的通孔尺寸，能實(shí)現(xiàn)水平向X/Y軸2自由度的高精度、高剛度直線運(yùn)動。
*接口尺寸數(shù)據(jù)來源于PLA90
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參數(shù) |
PLA90 - 100 |
PLA90 - 200 |
PLA90 - 300 |
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行程 |
±50mm |
±100mm |
±150mm |
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最大速度 |
0.3m/s |
0.5m/s |
0.5m/s |
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加速度 |
0.4g |
0.4g |
0.4g |
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精度 |
±1.5μm |
±2μm |
±2μm |
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雙向重復(fù)精度 |
±0.5μm |
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直線度 |
±2μm |
±3μm |
±5μm |
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平面度 |
±2μm |
±3μm |
±5μm |
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俯仰 |
±15arcsec |
±20arcsec |
±25arcsec |
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橫滾 |
±15arcsec |
±20arcsec |
±25arcsec |
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偏擺 |
±15arcsec |
±20arcsec |
±25arcsec |
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正交性 |
12arcsec |
15arcsec |
20arcsec |
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驅(qū)動質(zhì)量_Upper axis |
5.8kg |
8.4kg |
11kg |
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驅(qū)動質(zhì)量_Lower axis |
14.5kg |
17.1kg |
19.7kg |
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最大負(fù)載 |
10kg |
10kg |
10kg |
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平臺質(zhì)量 |
21kg |
25.5kg |
30kg |
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外觀尺寸 |
380mm×380mm×90mm |
380mm×380mm×90mm |
430mm×430mm×90mm |
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平臺材料 |
航空鋁，黑色陽極氧化 |
航空鋁，黑色陽極氧化 |
航空鋁，黑色陽極氧化 |
在PLA90系列產(chǎn)品序列里，配置了可根據(jù)用戶實(shí)際應(yīng)用選擇的可選項(xiàng)?？蛇x內(nèi)容包括行程、編碼器、高精度標(biāo)定等選項(xiàng)。
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表1行程選項(xiàng) |
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-100 |
100mm行程位移平臺，配置直線電機(jī)和限位 |
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-200 |
200mm行程位移平臺，配置直線電機(jī)和限位 |
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-300 |
300mm行程位移平臺，配置直線電機(jī)和限位 |
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表2編碼器選項(xiàng) |
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-S1 |
增量式模擬光學(xué)式編碼器，1Vpp |
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-S2 |
增量式數(shù)字光學(xué)式編碼器，RS422 |
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-S3 |
絕對式光學(xué)式編碼器，BISS |
