半導體、平板顯示、光纖對準、生物醫(yī)藥
堆疊式二維精密位移臺采用集成式、正交性設計理念，具有緊湊扁平的輪廓尺寸，能實現(xiàn)水平向X/Y軸2自由度的高精度、高剛度直線運動。
*接口尺寸數(shù)據(jù)來源于L2S125
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技術指標 |
單位 |
L2S125-300 |
L2S125-400 |
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軸 |
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X |
Y |
X |
Y |
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行程 |
mm |
365 |
365 |
410 |
475 |
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最大速度 |
m/s |
1 |
1 |
1 |
1 |
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加速度 |
m/s² |
10 |
10 |
10 |
10 |
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精度_校準前 |
μm |
±20 |
±20 |
±20 |
±20 |
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精度_校準后 |
μm |
±1 |
±1 |
±1 |
±1 |
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雙向重復精度 |
μm |
±0.4 |
±0.4 |
±0.4 |
±0.4 |
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直線度 |
μm |
±3 |
±3.5 |
±3 |
±3.5 |
|
平面度 |
μm |
±2.5 |
±5 |
±2.5 |
±5 |
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俯仰 |
μm |
±5 |
±10 |
±5 |
±10 |
|
橫滾 |
μm |
±5 |
±10 |
±5 |
±10 |
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偏擺 |
μm |
±10 |
±10 |
±10 |
±10 |
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正交性 |
μm |
±15 |
±15 |
±15 |
±15 |
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位置穩(wěn)定性（3σ）* |
nm |
±2 |
±2 |
±2 |
±2 |
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Move1:10μm within±100nm* |
ms |
50 |
50 |
50 |
50 |
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Move2:25mm within±100nm* |
ms |
140 |
140 |
140 |
140 |
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Move3:80mm within±100nm* |
ms |
170 |
170 |
170 |
170 |
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機械特征 |
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驅(qū)動負載（無負載）_Upper axis |
Kg |
3.6 |
3.6 |
4.5 |
4.5 |
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驅(qū)動負載（無負載）_Lower axis |
Kg |
17 |
17 |
18.5 |
18.5 |
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最大負載 |
Kg |
2 |
2 |
6 |
6 |
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平臺質(zhì)量 |
Kg |
29.5 |
29.5 |
32 |
32 |
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外觀尺寸 |
mm×mm×mm |
650×604×125 |
650×604×125 |
810×700×125 |
810×700×125 |
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平臺材料 |
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航空鋁，黑色陽極氧化 |
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*測試數(shù)據(jù)來源于采用8μm pitch光柵尺的測試，且運動臺處于主動隔振環(huán)境下。
在L2S125系列產(chǎn)品序列里，配置了可根據(jù)用戶實際應用選擇的可選項?？蛇x內(nèi)容包括行程、編碼器、導軌等選項。 X軸底座可根據(jù)客戶需求，改為大理石底座，可提供更高的定位精度。
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表1行程選項 |
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-300 |
365mmX365mm行程位移平臺，配置直線電機和限位 |
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-400 |
410mmX475mm行程位移平臺，配置直線電機和限位 |
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表2編碼器選項 |
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-S1 |
標準款，Renishaw編碼器 |
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-S2 |
高端款，Heidenhain編碼器 |
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表3導軌選項 |
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-Gl |
高剛性滾柱導軌 |
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-G2 |
高精度滾珠導軌 |
