X/Y軸
Z軸
T軸
復(fù)合式多軸精密位移臺是二維機械導(dǎo)軌+空氣軸承復(fù)合式運動平臺，可以讓客戶有效地享用機械導(dǎo)軌與空氣軸承導(dǎo)軌各自的優(yōu)點。機械導(dǎo)軌在XY平面的高剛性能承受較大加速度和提供高雙向重復(fù)精度，而空氣軸承確保全行程優(yōu)異的動態(tài)平面度。
該平臺采用模塊化、正交性等設(shè)計理念，包含隱冠的MZT模塊和復(fù)合式XY臺模塊。MZT模塊集成在復(fù)合式XY臺模塊之上，能實現(xiàn)X、Y、Z和T 軸4自由度的高精度、高剛度直線和旋轉(zhuǎn)運動。
MZT模塊的垂向采用了獨特的大行程磁浮重力補償技術(shù)，降低了垂向電機的載荷，很大程度地提高了垂向運動性能和壽命。
復(fù)合式XY臺模塊采用驅(qū)動質(zhì)心匹配、柔性龍門以及輕量化設(shè)計技術(shù)，具有降低對高精度機械導(dǎo)軌的偏質(zhì)心沖擊，提高運動系統(tǒng)的可靠性和壽命的能力，并具有對輕微平移Y1及Y2電機進(jìn)行偏向修正功能。
該平臺也可集成在隱冠的主動減振系統(tǒng)模塊之上，進(jìn)一步提高系統(tǒng)性能。
*接口尺寸數(shù)據(jù)來源于HS1000
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X |
Y1/Y2 |
Z |
T |
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軸 / Axes name |
X |
Y1/Y2 |
Z |
T |
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行程 / Travel range |
320 mm |
550 mm |
10 mm |
360 °, Infinite |
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最大速度 / Max. velocity |
1.2 m/s |
1.2 m/s |
0.1 m/s |
900 °/s |
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加速度 / Max. acceleration |
12 m/s² |
12 m/s² |
2 m/s² |
6280 °/s² |
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精度_校準(zhǔn)前 / Accuracy_indicative value |
±10 μm |
±10 μm |
NA |
±30 arcsec |
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精度_校準(zhǔn)后 / Accuracy_calibration value |
±1 μm |
±1μm |
±0.5 μm /1 mm |
±3 arcsec |
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雙向重復(fù)精度 / Bidirectional repeatability |
±0.4 μm |
±0.4 μm |
±0.3 μm /1 mm |
±2 arcsec |
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位置穩(wěn)定性 (3σ)/Position stability(3σ) |
±25 nm* |
±25 nm* |
±15 nm* |
±0.2 arcsec |
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直線度 / Straightness |
±2 μm over range |
±1.5 μm over range |
2 μm |
NA |
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軸向跳動 / Axial runout |
NA |
NA |
NA |
±1.5 μm |
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徑向跳動 / Radial runout |
NA |
NA |
NA |
±1.5 μm |
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驅(qū)動負(fù)載 (無負(fù)載)/Moving mass (without payload) |
15 Kg |
30 Kg |
5.5 Kg |
NA |
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最大負(fù)載 / Max. load |
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2 Kg (可定制) |
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平臺質(zhì)量 / Stage mass |
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666 Kg |
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外觀尺寸 / Dimensions |
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1040 mm×1050 mm×405.3 mm (Chuck 吸附面到大理石 157.8 mm) |
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* 測試數(shù)據(jù)來源于采用 8μm pitch 光柵尺的測試。
