±1&" />
色欲网天天无码av,大雞巴太硬了別磨了,欧美性生交活XXXXXDDDD,少妇人妻精品一区二区三区
- 堆疊式3軸平臺，正交性設(shè)計(jì)
- 全局平面度、直線度達(dá)微米級
- X/Y軸
高剛度、高精度導(dǎo)軌設(shè)計(jì)
線纜擾動(dòng)力一致性設(shè)計(jì)
- Z軸
垂向磁懸浮重力補(bǔ)償，可實(shí)現(xiàn)高定位精度
高剛性、高精度導(dǎo)向設(shè)計(jì)
垂向增量光柵，最高可實(shí)現(xiàn)5納米分辨率
超薄型、輕量化設(shè)計(jì)
最大可支持30mm垂向機(jī)械行程
晶圓生產(chǎn)控制應(yīng)用，例如薄膜計(jì)量、關(guān)鍵尺寸檢查等，以及晶圓劃線和晶圓激光退火等
堆疊式三維直線位移臺采用模塊化、超薄設(shè)計(jì)、正交性設(shè)計(jì)等理念，將MZM200-10標(biāo)準(zhǔn)模組集成在十字平臺L2S125模組之上，能實(shí)現(xiàn)X、Y和Z軸3自由度的高精度、高剛度直線運(yùn)動(dòng)。其中，MZM200-10標(biāo)準(zhǔn)模組采用了大行程磁浮重力補(bǔ)償技術(shù)，具有降低垂向電機(jī)的載荷，很大程度地提高了垂向運(yùn)動(dòng)性能和壽命的功能，可實(shí)現(xiàn)高精度上下方向定位的升降。十字平臺L2S125模組采用集成式、正交性設(shè)計(jì)理念，具有緊湊扁平的輪廓尺寸，能實(shí)現(xiàn)水平向X/Y軸2自由度的高精度、高剛度直線運(yùn)動(dòng)。
*接口尺寸數(shù)據(jù)來源于L3S190，且垂向處于行程最高位。
|
|
X |
Y |
Z |
|
軸 / Axes name |
X |
Y |
Z |
|
行程 / Travel range |
350 mm |
350 mm |
9 mm (可定制) |
|
最大速度 / Max. velocity |
0.6 m/s |
0.6 m/s |
0.1 m/s |
|
加速度 / Max. acceleration |
5 m/s² |
5 m/s² |
2 m/s² |
|
精度_校準(zhǔn)前 / Accuracy_indicative value |
±20 μm |
±20 μm |
- |
|
精度_校準(zhǔn)后 / Accuracy_calibration value |
±2 μm |
±2 μm |
±0.5 μm /1 mm |
|
雙向重復(fù)精度 / Bidirectional repeatability |
±1 μm |
±1 μm |
±0.3μm /1mm |
|
直線度 / Straightness |
±10 μm |
±10 μm |
- |
|
俯仰 / Pitch |
±75 arcsec |
±50 arcsec |
±50 arcsec |
|
橫滾 / Roll |
- |
- |
±50 arcsec |
|
偏擺 / Yaw |
±75 arcsec |
±75 arcsec |
- |
|
正交性 / Orthogonality |
|
5 μm |
- |
|
驅(qū)動(dòng)負(fù)載（無負(fù)載）/Moving mass (without payload) |
14.2 Kg |
27.5 Kg |
6.7 Kg |
|
最大負(fù)載 / Max. load |
|
5 Kg |
|
|
平臺質(zhì)量 / Stage mass |
|
40 Kg |
|
|
外觀尺寸 / Dimensions |
|
734 mm×600 mm×187 mm (垂向處行程最高位) |
|
在整個(gè)產(chǎn)品序列里，配置了可根據(jù)用戶實(shí)際應(yīng)用選擇的可選項(xiàng)?？蛇x內(nèi)容包括編碼器、高精度標(biāo)定和控制系統(tǒng)等選項(xiàng)。
|
表1編碼器選項(xiàng) |
|
|
-S1 |
增量式模擬光學(xué)式編碼器 |
|
-S2 |
增量式數(shù)字光學(xué)式編碼器 |
|
-S3 |
絕對式光學(xué)式編碼器 |
|
表2導(dǎo)軌選項(xiàng) |
|
|
-Gl |
高剛度機(jī)械導(dǎo)軌 |
|
-G2 |
高性能氣浮導(dǎo)軌 |
