X軸
Z軸
T軸
晶圓生產(chǎn)控制應(yīng)用，例如薄膜計量、關(guān)鍵尺寸檢查等
極坐標精密位移臺采用高度模塊化、超薄型等設(shè)計理念，實現(xiàn)X、Z和T軸3自由度的高精度、高剛度直線和旋轉(zhuǎn)運動。其中垂向采用了獨特的大行程磁浮重力補償技術(shù)，降低垂向電機的載荷，很大程度地提高垂向運動性能和壽命。
*接口尺寸數(shù)據(jù)來源于PS150，且垂向處于下限位。
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技術(shù)指標 |
單位 |
PS150-155 |
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軸 |
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X |
Z |
T |
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行程 |
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155 mm |
25 mm |
360°,Infinite |
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最大速度 |
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400 mm/s |
40 mm/s |
900°/s |
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加速度 |
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4m/s² |
1m/s² |
6280°/s² |
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精度 |
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±1μm |
±0.4μm |
±3 arcsec |
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雙向重復(fù)精度 |
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±0.5μm |
±0.2μm/1mm |
±2 arcsec |
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直線度 |
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6 μm |
NA |
NA |
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俯仰 |
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±20μrad |
NA |
NA |
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橫滾 |
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±20μrad |
NA |
NA |
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偏擺 |
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±20μrad |
NA |
NA |
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軸向跳動 |
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NA |
NA |
±2 μm |
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徑向跳動 |
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NA |
NA |
±2 μm |
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機械特征 |
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驅(qū)動負載（無負載） |
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12 |
5.4 |
NA |
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轉(zhuǎn)動慣量 |
Kg•m² |
0.00401 |
0.00401 |
0.00401 |
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最大負載 |
Kg |
2（可定制） |
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平臺質(zhì)量 |
Kg |
44 |
44 |
44 |
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外觀尺寸 |
mm×mm×mm |
460×362×156.4（垂向機械下限位） |
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平臺材料 |
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航空鋁，陽極氧化 |
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在PS150系列產(chǎn)品序列里，配置了可根據(jù)用戶實際應(yīng)用選擇的可選項。可選內(nèi)容包括編碼器、垂向行程等選項。
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表1編碼器選項 |
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-S1 |
增量式模擬光學(xué)式線性編碼器，1Vpp,20μm Pitch |
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-S2 |
增量式數(shù)字光學(xué)式線性編碼器，TTL,20μm Pitch |
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-S3 |
絕對式光學(xué)式線性編碼器，BISS-C,20μm Pitch |
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表 2 垂直機械行程選項 |
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-10 |
垂向機械行程10mm |
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-20 |
垂向機械行程20mm |
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-25 |
垂向機械行程25mm |
