±0.5μm（X、Y軸）
±0.3μm/1mm（Z軸）
±2 arcsec（T軸" />
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- 堆疊式4軸平臺，正交性設(shè)計
- 全局平面度、直線度達微米級
X/Y 軸
- 高剛度、高精度導(dǎo)軌設(shè)計
- 線纜擾動力一致性設(shè)計
Z 軸
- 垂向磁懸浮重力補償，可實現(xiàn)高定位精度
- 高剛性、高精度導(dǎo)向設(shè)計
- 垂向增量光柵，最高可實現(xiàn)5納米分辨率
- 超薄型、輕量化設(shè)計
- 垂向最大可支持30mm 機械行程
T軸
- 360°旋轉(zhuǎn)，無管路纏繞，支持12'、8'晶圓真空吸附
- 支持最大0.7mm翹曲晶圓
- 最大支持轉(zhuǎn)速150rpm
晶圓生產(chǎn)控制應(yīng)用，例如薄膜計量、關(guān)鍵尺寸檢查等，以及晶圓劃線和晶圓激光退火
堆疊式四軸精密位移臺采用模塊化、超薄設(shè)計、正交性設(shè)計等理念，將MZT90標(biāo)準(zhǔn)模組集成在交叉十字平臺L2S125模組之上，能實現(xiàn)X、Y、Z和T軸4自由度的高精度、高剛度運動。其中MZT90采用創(chuàng)新性的雙軸耦合設(shè)計理念，具有緊湊扁平的輪廓尺寸，能實現(xiàn)Z/T軸2自由度的高精度、高剛度運動。交叉十字平臺L2S125模組采用集成式、正交性設(shè)計理念，具有緊湊扁平的輪廓尺寸，能實現(xiàn)水平向X/Y 軸2自由度的高精度、高剛度直線運動。
*接口尺寸數(shù)據(jù)來源于L4S210，且行程處于中間位。
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技術(shù)指標(biāo) |
單位 |
L4S210-350 |
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軸 |
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X |
Y |
Z |
T |
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行程 |
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350 mm |
350 mm |
10 mm |
360°,Infinite |
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最大速度 |
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1 m/s |
1 m/s |
0.1 m/s |
900°/s |
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加速度 |
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10 m/s² |
10 m/s² |
2 m/s² |
6280°/s² |
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精度_校準(zhǔn)前 |
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±10 μm |
±10 μm |
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精度_校準(zhǔn)后 |
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±1 μm |
±1 μm |
0.05 μm |
±3 arcsec |
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雙向重復(fù)精度 |
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±0.5 μm |
±0.5 μm |
±0.3 μm/1mm |
±2 arcsec |
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位置穩(wěn)定性（3σ） |
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±2 nm* |
±2 nm* |
±15 nm* |
±0.072 arcsec |
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直線度 |
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±2 μm over range |
±2 μm over range |
1μm |
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俯仰 |
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±5 arcsec |
±5 arcsec |
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橫滾 |
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±5 arcsec |
±5 arcsec |
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偏擺 |
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±10 arcsec |
±10 arcsec |
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正交性 |
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±15 arcsec |
±15 arcsec |
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軸跳&徑跳 |
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NA |
NA |
NA |
±2 μm |
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機械特征 |
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驅(qū)動負(fù)載 （無負(fù)載） |
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27 Kg |
45 Kg |
7 Kg |
0.00336 Kg.m^2 |
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最大負(fù)載 |
Kg |
2（可定制） |
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平臺質(zhì)量 |
Kg |
40（鋁合金材料） |
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外觀尺寸 |
mm×mm×mm |
752×606×209.1（行程處于中間位） |
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*測試數(shù)據(jù)來源于采用8μm pitch光柵尺的測試，且運動臺處于主動隔振環(huán)境下。
在L4S210-350產(chǎn)品序列里，配置了可根據(jù)用戶實際應(yīng)用選擇的可選項?？蛇x內(nèi)容包括編碼器、導(dǎo)軌和控制系統(tǒng)等選項。 X軸底座可根據(jù)客戶需求，改為大理石底座，可提供更高的定位精度。
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表 1編碼器選項 |
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-S1 |
增量式模擬光學(xué)式編碼器，1Vpp |
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-S2 |
增量式數(shù)字光學(xué)式編碼器，TTL |
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-S3 |
絕對式光學(xué)式編碼器，BISS |
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表 1 垂向?qū)к夁x項 |
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-Gl |
高精度氣浮導(dǎo)軌，垂向機械行程 6mm |
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-G2 |
高精度交叉滾子導(dǎo)軌，垂向機械行程24mm |
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-G3 |
高精度防蠕變交叉滾子導(dǎo)軌，垂向機械行程13mm |
