高剛度、高精度導(dǎo)軌設(shè)計
線纜擾動力一致性設(shè)計
無限制的角度運(yùn)動，可選旋轉(zhuǎn)角度硬限位
Chuck真空接口，支持多氣路供氣
最大支持轉(zhuǎn)速150rpm
晶圓生產(chǎn)控制應(yīng)用，例如薄膜計量、關(guān)鍵尺寸檢查等，以及晶圓劃線和晶圓激光退火
堆疊式三軸精密位移臺采用模塊化、超薄設(shè)計、正交性設(shè)計等理念，將RD-180標(biāo)準(zhǔn)模組集成在十字平臺L2S125模組之上，能實現(xiàn)X、Y和T軸3自由度的高精度、高剛度運(yùn)動。其中，RD-180采用了扁平的設(shè)計思想，能實現(xiàn)T方向高精度、高剛度無限制旋轉(zhuǎn)。交叉十字平臺L2S125模組采用集成式、正交性設(shè)計理念，具有緊湊扁平的輪廓尺寸，能實現(xiàn)水平向X/Y軸2自由度的高精度、高剛度直線運(yùn)動。
*接口尺寸數(shù)據(jù)來源于LST190，且行程處于中間位。
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技術(shù)指標(biāo) |
LST190-365 |
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軸 |
X |
Y |
T |
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行程 |
365 mm |
365 mm |
360°,Infinite |
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最大速度 |
1 m/s |
1 m/s |
900°/s |
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加速度 |
10 m/s² |
10 m/s² |
6280°/s² |
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精度_校準(zhǔn)前 |
±10 μm |
±10 μm |
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精度_校準(zhǔn)后 |
±1 μm |
±1 μm |
±3 arcsec |
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雙向重復(fù)精度 |
±0.5μm |
±0.5μm |
±2arcsec |
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直線度 |
±2 μm over range |
±2 μm over range |
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俯仰 |
±5 arcsec |
±10 arcsec |
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橫滾 |
±5 arcsec |
±10 arcsec |
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偏擺 |
±10 arcsec |
±10 arcsec |
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正交性 |
±15 arcsec |
±15 arcsec |
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軸跳&徑跳 |
NA |
NA |
±1.5 μm |
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位置穩(wěn)定性（3σ）* |
±2 nm |
±2 nm |
±0.072 arcsec |
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Move1:10μm within±100nm* |
50 ms |
50 ms |
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Move2：25mm within±100nm* |
140ms |
140 ms |
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Move3：80mm within±100nm* |
170 ms |
170 ms |
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Move4：1deg within±40μdeg |
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100 ms |
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Move5：180deg within±40μdeg |
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500 ms |
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機(jī)械特征 |
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驅(qū)動負(fù)載（無負(fù)載） |
12 Kg |
28 Kg |
0.02022 Kg.m^2 |
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最大負(fù)載 |
2 Kg（可定制） |
2 Kg（可定制） |
2 Kg（可定制） |
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平臺質(zhì)量 |
50 Kg |
50 Kg |
50 Kg |
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外觀尺寸 |
764×620×224.5 mm（行程處于中間位） |
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在LST190產(chǎn)品序列里，配置了可根據(jù)用戶實際應(yīng)用選擇的可選項?？蛇x內(nèi)容包括編碼器、Chuck 供氣路數(shù)、控制系統(tǒng)等選項。 X軸底座可根據(jù)客戶需求，改為大理石底座，可提供更高的定位精度。
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表1編碼器選項 |
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-S1 |
標(biāo)準(zhǔn)款，Renishaw編碼器 |
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-S2 |
高端款，Heidenhain編碼器 |
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表 2 供氣選項 |
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-C1 |
Chuck單氣路供氣 |
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-C2 |
Chuck雙氣路供氣 |
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-C3 |
Chuck三氣路供氣 |
