晶圓生產(chǎn)控制應用，例如薄膜計量、關鍵尺寸檢查
磁浮重力補償垂向位移臺采用緊湊扁平的輪廓尺寸設計思想。垂向采用了大行程磁浮重力補償技術，降低垂向電機的載荷，很大程度地提高垂向運動性能和壽命?？蓪崿F(xiàn)高精度上下方向定位的升降，垂向可提供高剛度機械導軌和高性能氣浮導軌選項，氣浮導軌可提供更高精度的雙向重復性能。
*接口尺寸數(shù)據(jù)來源于MZM200,且垂向處于中間位
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MZM200-10 |
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行程 / Travel range |
10 mm |
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最大速度 / Max. velocity |
100 mm/s |
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加速度 / Max. acceleration |
2 m/s² |
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精度 / Accuracy |
±0.5 μm /1 mm |
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雙向重復精度 / Bidirectional repeatability |
±0.3 μm /1 mm |
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位置穩(wěn)定性（3σ）/Position stability (3σ) |
±50 nm |
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直線度 / Straightness |
2 μm |
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俯仰 / Pitch |
100 μrad (21 arcsec) |
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橫滾 / Roll |
100 μrad (21 arcsec) |
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偏擺 / Yaw |
100 μrad (21 arcsec) |
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驅(qū)動負載（無負載）/Moving mass (without payload) |
1.8 Kg |
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最大負載 / Max. load |
6.2 Kg |
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平臺質(zhì)量 / Stage mass |
3.5 Kg |
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外觀尺寸 / Dimensions |
S200 mm×72 mm |
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平臺材料 / Material |
航空鋁，黑色陽極氧化 |
在MZM200系列產(chǎn)品序列里，配置了可根據(jù)用戶實際應用選擇的可選項?？蛇x內(nèi)容包括行程、編碼器、導軌等選項。
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表1行程選項 |
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-5 |
5mm行程位移平臺，配置音圈電機和限位 |
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-10 |
10mm行程位移平臺，配置音圈電機和限位 |
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-25 |
25mm行程位移平臺，配置音圈電機和限位 |
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表2編碼器選項 |
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-S1 |
增量式模擬光學式線性編碼器，1Vpp |
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-S2 |
增量式數(shù)字光學式線性編碼器，RS422 |
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-S3 |
絕對式光學式線性編碼器，BISS |
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表3導軌選項 |
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-Gl |
高剛度機械導軌 |
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-G2 |
高性能氣浮導軌 |
