半導(dǎo)體、平板顯示、光纖對準(zhǔn)
重載垂向定位臺采用創(chuàng)新楔形機(jī)構(gòu)的設(shè)計(jì)思想，具有緊湊扁平的輪廓尺寸，通過高剛度導(dǎo)柱和高精度絲杠結(jié)構(gòu)，使得平臺具有非常高的定位精度、重復(fù)定位精度和大負(fù)載能力。
*接口尺寸數(shù)據(jù)來源于MZH400,且垂向處于中間位。
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技術(shù)指標(biāo) |
單位 |
MZH400-25 |
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行程 |
mm |
25 |
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最大速度 |
mm/s |
20 |
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加速度 |
mm/s² |
50 |
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精度 |
μm |
±1 |
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雙向重復(fù)精度 |
μm |
±0.5 |
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直線度 |
μm |
±3 |
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俯仰 |
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100µrad(21arcsec) |
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橫滾 |
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100µrad(21arcsec) |
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偏擺 |
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100µrad(21arcsec) |
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正交性 |
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100µrad(21arcsec) |
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機(jī)械特征 |
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驅(qū)動負(fù)載（無負(fù)載） |
Kg |
23 |
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最大負(fù)載 |
Kg |
50 |
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平臺質(zhì)量 |
Kg |
44 |
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外觀尺寸 |
mm×mm×mm |
574.4×392.4×202 |
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平臺材料 |
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航空鋁，黑色陽極氧化 |
在MZH400系列產(chǎn)品序列里，配置了可根據(jù)用戶實(shí)際應(yīng)用選擇的可選項(xiàng)。可選內(nèi)容包括行程、編碼器等選項(xiàng)。
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表1行程選項(xiàng) |
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-10 |
10mm行程位移平臺，配置伺服電機(jī)和限位 |
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-20 |
20mm行程位移平臺，配置伺服電機(jī)和限位 |
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-30 |
30mm行程位移平臺，配置伺服電機(jī)和限位 |
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表2編碼器選項(xiàng) |
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-S1 |
增量式模擬光學(xué)式線性編碼器，1Vpp |
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-S2 |
增量式數(shù)字光學(xué)式線性編碼器，RS422 |
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-S3 |
絕對式光學(xué)式線性編碼器，BISS |
