PAPL-C001型壓電致動器是一種精密的陶瓷驅(qū)動器，它能將電能直接轉(zhuǎn)換成線性運(yùn)動，具有分辨率高、驅(qū)動力大等特點(diǎn)。該驅(qū)動器可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備、醫(yī)療設(shè)備等領(lǐng)域。
默認(rèn)輸出端為平推頭，可定制其他輸出端結(jié)構(gòu)。
|
|
PAPL-C001 |
單位 |
公差 |
|
行程@150V* |
60 |
μm |
15% |
|
電容** |
6.2 |
μF |
15% |
|
開環(huán)分辨率 |
0.06 |
nm |
/ |
|
集成傳感器*** |
/ |
/ |
|
|
諧振頻率 |
11 |
kHz |
15% |
|
剛度 |
8.5 |
N/μm |
15% |
|
推力**** |
1000 |
N |
|
|
拉力 |
150 |
N |
|
|
工作電壓 |
-20~150 |
V |
/ |
|
工作溫度 |
-20~80 |
℃ |
/ |
|
電壓接口 |
LEMO 00.250 |
/ |
|
|
線長 |
1.5 |
m |
0.5% |
* 空載下位移輸出；
** 電容測試條件：常溫環(huán)境，500mVpp，1kHz；
*** 參數(shù)只適用開環(huán)版本的壓電預(yù)壓致動器；
**** 推力測試：驅(qū)動電壓0~150V。
其他規(guī)格可根據(jù)客戶需求進(jìn)行定制。
PAPL系列C001型預(yù)壓致動器，開環(huán)版本
|
型號 |
說明 |
|
PAPL-C001 |
C001型壓電預(yù)壓致動器，有效行程60μm，開環(huán)，無磁，可適應(yīng)高真空環(huán)境 |
