HS1000復(fù)合式多軸精密位移系統(tǒng)
HS1000復(fù)合式多軸精密位移系統(tǒng)
- X、Y1/Y2、Z、T 四軸
- 機(jī)械導(dǎo)軌與氣浮導(dǎo)軌的復(fù)合應(yīng)用
- 360° 無(wú)限制旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，無(wú)管路纏繞
- 支持 12"、8"、6" 多種規(guī)格晶圓吸附
- 行程：
- 320 mm（X 軸）
- 550 mm（Y1/Y2）
- 10 mm（Z 軸，可定制）
- 雙向重復(fù)精度：
- ±0.4μm（X、Y 軸）
- ±0.3μm/1mm（Z 軸）
- ±2 arcsec（T 軸）
- 垂向磁懸浮重力補(bǔ)償
- 最大支持轉(zhuǎn)速 900°/s（相當(dāng)于 15rpm ）
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