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精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)系列

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精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)系列

PLA90中空式平面二維精密位移臺(tái)

PLA90中空式平面二維精密位移臺(tái)

X、Y兩軸
行程：±50 mm - ±150 mm
雙向重復(fù)精度：±0.5μm
最大負(fù)載：10 Kg
大中空尺寸設(shè)計(jì)

MZT90磁浮集成式ZT臺(tái)

MZT90磁浮集成式ZT臺(tái)

Z、T兩軸
360°無(wú)限制旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)
Z軸行程：10 mm - 30 mm （可定制）
最大轉(zhuǎn)速：150 rpm
雙向重復(fù)精度：
±0.3μm/1mm（Z軸）
±2 arcsec（T軸）
Z軸直線度：2 μm
磁浮重力補(bǔ)償技術(shù)
全閉環(huán)伺服設(shè)計(jì)
支持12'、8'、6'多種規(guī)格晶圓吸附

GS200二維精密轉(zhuǎn)臺(tái)

GS200二維精密轉(zhuǎn)臺(tái)

兩軸360°無(wú)限制旋轉(zhuǎn)萬(wàn)向節(jié)系統(tǒng)
最大轉(zhuǎn)速： 100 rpm
精度：±5 arcsec to ±40 arcsec
最大負(fù)載：6.8-16 Kg
中空尺寸：95-206 mm

PS150極坐標(biāo)精密位移臺(tái)

PS150極坐標(biāo)精密位移臺(tái)

X、Z、T三軸
360°無(wú)限制旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)
X軸行程：155mm
Z軸行程：30mm (可定制)
最大轉(zhuǎn)速：150rpm
雙向重復(fù)精度：
±0.5μm(X軸)
±0.2μm/1mm (Z軸)
±2 arcsec(T軸)
磁浮重力補(bǔ)償技術(shù)
主動(dòng)式風(fēng)冷/水冷散熱設(shè)計(jì)

LST190堆疊式三軸精密位移臺(tái)

LST190堆疊式三軸精密位移臺(tái)

X、Y、T三軸
360°無(wú)限制旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)
X、Y軸行程：365 mm
最大轉(zhuǎn)速：150 rpm
雙向重復(fù)精度：
±0.5μm（X、Y軸）
±2 arcsec（T軸）

L3S190堆疊式三維直線位移臺(tái)

L3S190堆疊式三維直線位移臺(tái)

X、Y、Z三軸
X、Y軸行程：350 mm
Z軸：9 mm （可定制）
雙向重復(fù)精度：
±1μm（X、Y軸）
±1μm & ±0.3μm/1 mm（Z軸）
最大負(fù)載：5 Kg

L4S210堆疊式四軸精密位移臺(tái)

L4S210堆疊式四軸精密位移臺(tái)

X、Y、Z、T四軸
360°無(wú)限制旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，無(wú)管路纏繞
支持12'、8'晶圓真空吸附
X、Y軸行程：350 mm
Z軸：10 mm （可定制）
雙向重復(fù)精度：
±0.5μm（X、Y軸）
±0.3μm/1mm（Z軸）
±2 arcsec（T軸）
垂向磁懸浮重力補(bǔ)償
最大支持轉(zhuǎn)速150rpm
支持最大0.7mm翹曲晶圓

HS1000復(fù)合式多軸精密位移系統(tǒng)

HS1000復(fù)合式多軸精密位移系統(tǒng)

X、Y1/Y2、Z、T 四軸
機(jī)械導(dǎo)軌與氣浮導(dǎo)軌的復(fù)合應(yīng)用
360° 無(wú)限制旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，無(wú)管路纏繞
支持 12"、8"、6" 多種規(guī)格晶圓吸附
行程：
320 mm（X 軸）
550 mm（Y1/Y2）
10 mm（Z 軸，可定制）
雙向重復(fù)精度：
±0.4μm（X、Y 軸）
±0.3μm/1mm（Z 軸）
±2 arcsec（T 軸）
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